直流磁控溅射电源维修-电源维修

日期：2021-12-08 浏览量：1679

维修的种类包括：UPS电源、射频电源、高压电源、稳压电源、直流电源、主板电源、功放模块电源、高频电源等各种工业应用电源。工程师具有丰富的维修经验和齐全的电源配件。

直流磁控溅射电源维修-电源维修

维修型号：DPG(RPDG) Series:DPG-10-05 DPG-10 ACG Series:ACG-3 ACG-3B ACG-5 ACG-6 ACG-6B ACG-10 ACG-1OB 2100L-15P 5100L 600L 601POEM Series:OEM-6 OEM-6A OEM-6B OEM-12 OEM-12A OEM-12A-XL OEM-12B OEM-12-B3 OEM-25AOEM-25-XL OEM-28B OEM-50 OEM-1250 OEM-2000 TEL-7000-RFSpectrum Series: B-1513 B-3013 B-10013 B-10002 B-5002 B-11002 B-5513Z B-10513Supepower Series:QL-3513 QL-6513 QL-10513 QL-13013GENESIS(GHW,GMW,GEW,VHF)Series:GHW-12 GHW-25 GHW-50 GHW-80 GHW-2527 GHW-3040GHW-58A GHW-85A GMW-25A GMW-25Z GEW-2527 GEW-3040NOVA Series:NOVA-25 NOVA-25A NOVA-50A RACK Series: RACK-AM-300 OTHERS: DPGS-10 DPGD-10 LPG-6A LPG-12A PL1-HF PL2-HF PL3-HFQuanta-10 HF-300 HF-650 HPG-2oneBox Series: OB1-01 OB1-02 OB1-03 OB1-04 OB2 Series OB4 Series 000-1093-076(2MHZ,2.5KW)000-1093-077(27.12MHZ,1.8KW) 000-1093-075(DUAL MATCH) 000-1134-076 000-1134-077 000-1134-077R

射频电源研发和第三方维修供应商，是国内早从事工业电源维修的企业。

服务范围：

从事大功率射频RF电源研发&第三方维修供应商，为太阳能光伏、半导体、液晶面板、镀膜行业研发和维修PVD、CVD、

PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的设备电源，包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。

服务优势：

拥有一批技术人才，进口品牌射频电源工程技术支持，消化吸收国外技术基础上发展，锻炼培养十几名的维修工程师。拥有自主开发的配套射频电源测试平台，高压电源测试负载，直流电源测试负载，测试仪器设备，以及丰富的图纸技术资料。

服务品牌：

AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源，

HiTek Power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源。

ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU。

电源维修

维修半导体设备电源，主要有高压电源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流电源（DC Power Supply）、

射频电源(RF Generator)、微波发生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等设备维修。

Thermo Chiller维修

温度控制泵浦，设备冷却系统，品牌有SMC，小松、大金、申和等

一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源

1、AE（ADVANCED ENERGY）射频电源/直流电源

2、MKS ENI射频电源/直流电源

3、DAIHEN射频电源

4、KYOSAN射频电源/直流电源

5、COMDEL射频电源

6、ADTEC射频电源

7、SEREN射频电源

二、RF MATCH(射频电源匹配网络)

1、AE （Advanced Energy） RF Match Network

2、LAM RF Match Network

3、AMAT RF Match Network

4、SEREN RF MATCH NETWORK

5、DAIHEN RF Match Network

6、SEREN RF Match Network

三、高压电源

1、HiTek Power supply高压电源

2、ADVANCE HIVOLT高压电源

3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源

4、GLASSMAN高压电源

5、SPELLMAN高压电源

6、Varian高压电源

7、其他品牌

四、直流电源

1、LAMDBA ESS/EMI直流电源

2、Delta ELEKTRONIKA直流电源

3、SORENSEN直流电源

4、AMETEK可编程电源

5、POWER TEN直流电源

6、灯丝电源、X射线电源

7、曝光灯电源USHIO（ Mercury lamp power supply）

五、微波电源发生器

1、ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator

2、MUEGGE Microwave Power Supply微波电源

3、ASTeX Smart Match

六、RPSC

MKS 2L

MKS 3L

MKS 6L

MKS 8L

MKS 15L

MKS 22L

七、CHILLER温度控制泵浦

SMC INR-341-16A

SMC INR-498-011

SMC INR-244-215

SMC-INR-244-117A

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